[发明专利]铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法在审
| 申请号： | 201510184392.6 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN104831244A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04;C23C4/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 窦贤宇 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法，其中铝钽旋转靶材的原材料为铝钽粉，使用可控气氛冷喷涂技术喷涂铝钽粉制备靶材。该方法包括：制备粒度为150～1000目，纯度不低于99.99%的铝钽粉；对不锈钢基体进行除锈、清洗、喷砂等处理；在惰性气体保护下，使用等离子喷涂方法喷涂合金过渡层；在循环惰性气体保护氛围中，冷喷涂铝钽粉末到含有合金过渡层的基体上制备旋转靶材，惰性气体流量为200～1500SCCH，基体以60～150r/min的速度围绕中心轴旋转，喷枪的移动速度为500～1500mm/min。利用本发明制备的铝钽旋转靶材纯度高（≥99.99%、含氧量≤200ppm）、密度大（相对密度≥97%）、成分均匀，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 可控 气氛 喷涂 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝钽旋转靶材，其特征在于，所述靶材的纯度为不小于99.99%，相对密度不小于97%，厚度为3~15mm，含氧量小于200ppm，铝元素的含量为90 ~ 99% wt ，钽元素的含量为 1 ~ 10% wt 。
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