[发明专利]自动再填充安瓿及其使用方法有效
| 申请号： | 201510181183.6 | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN105003825B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | J·约德伏斯基;K·崔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种自动再填充安瓿及其使用方法。本文描述用于向处理腔室供应气体的设备和方法。所述设备包括与安瓿形成流体连通的入口管线、出口管线和填充管线。所描述的设备和使用方法容许在处理期间再填充前体安瓿，而无需拆下或更换安瓿及中断工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 填充 安瓿 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种气体输送系统，包括：安瓿；入口管线，与所述安瓿形成流体连通，所述入口管线具有安瓿入口阀门以控制进入所述安瓿内的载气气流；填充管线，与所述安瓿形成流体连通，所述填充管线具有填充入口阀门以控制进入所述安瓿内的前体流；及出口管线，与所述安瓿形成流体连通，且具有安瓿出口阀门以控制离开所述安瓿的气流。
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