[发明专利]自动再填充安瓿及其使用方法

权利要求书

1.一种气体输送系统，包括：

安瓿；

入口管线，与所述安瓿形成流体连通，所述入口管线具有安瓿入口阀门以控制进入所述安瓿内的载气气流；

填充管线，与所述安瓿、前体管线和净化气体管线形成流体连通，所述填充管线具有填充入口阀门以控制进入所述安瓿内的前体流；及

出口管线，与所述安瓿形成流体连通，且具有安瓿出口阀门以控制离开所述安瓿的气流，

其中所述填充管线包括热元件以控制所述填充管线中的前体的温度，且基于所添加的前体量、所述安瓿中现存前体量和所述安瓿中的前体温度而控制所述填充管线中的前体的温度。

2.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述前体管线和所述净化气体管线在三通阀门处连接至所述填充管线。

3.如权利要求2所述的气体输送系统，其中所述填充管线通过填充管线支脚与所述三通阀门形成流体连通。

4.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述前体管线包括前体管线阀门，所述前体管线阀门与所述前体管线形成流体连通以控制通过所述前体管线的前体流。

5.如权利要求4所述的气体输送系统，其中所述前体管线阀门是自动阀门。

6.如权利要求4所述的气体输送系统，其中所述前体管线阀门是手动阀门。

7.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述净化气体管线包括净化气体管线阀门以控制所述净化气体管线中的气流。

8.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述净化气体管线包括止回阀，所述止回阀与所述净化气体管线形成流体连通以防止所述净化气体管线中的气流移向所述净化气体的来源。

9.如权利要求8所述的气体输送系统，其中所述止回阀定位在净化流体管线阀门上游。

10.如权利要求3所述的气体输送系统，进一步包括泵管线，所述泵管线与所述填充管线形成流体连通。

11.如权利要求10所述的气体输送系统，其中所述泵管线包括泵管线阀门以控制流经所述泵管线的流体流。

12.如权利要求11所述的气体输送系统，其中所述泵管线和所述填充管线支脚在Y形管处连接至所述填充管线。

13.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述入口管线包括加热器，所述加热器位于所述安瓿的上游以加热所述入口管线内的所述气体。

14.如权利要求1所述的气体输送系统，其中所述安瓿位于机壳内，及所述机壳与净化气体形成流体连通。

15.一种气体输送系统，包括：

安瓿，位于机壳内；

入口管线，与所述安瓿形成流体连通，所述入口管线具有安瓿入口阀门以控制进入所述安瓿内的载气气流；

填充管线，与所述安瓿形成流体连通，所述填充管线具有填充入口阀门以控制进入所述安瓿内的前体流，所述填充管线与前体管线和净化气体管线形成流体连通，所述前体管线包括前体管线阀门以控制通过所述前体管线的前体流；及

出口管线，与所述安瓿形成流体连通，且具有安瓿出口阀门以控制离开所述安瓿的气流，

其中所述前体管线进一步包括热元件以控制所述前体管线中的所述前体流的温度，且基于所添加的前体量、所述安瓿中现存前体量和所述安瓿中的前体温度而控制所述前体流的温度。

16.如权利要求15所述的气体输送系统，其中所述前体管线和所述净化气体管线连接至三通阀门，且所述三通阀门的出口与填充管线支脚形成流体连通，所述填充管线支脚与所述填充管线形成流体连通。