[发明专利]易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置

摘要

本发明公开了一种易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置，主要由炉体及其进气口和出气口组成，炉体为球形炉体。该装置完全抛弃了传统直管型真空炉的结构，创新运用球形炉体，将炉膛由原有的圆柱结构改变为弧形结构，因而炉膛内气体流动也由线性变为非线性流动方式。同时，本发明结合进气口和出气口的布置，可以实现对化学气相法制备石墨烯的气相动力学控制，解决了直管型真空炉炉体内气体径向、线性气流所引起的基底材料表面边界层的气相动力学平衡问题及其影响石墨烯质量的难题，实现了石墨烯化学气相法制备的气相动力学控制和平衡，进而高质量地制备石墨烯。

主权项

一种易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置，主要由炉体及其进气口和出气口组成，其特征在于：所述炉体为球形炉体；所述进气口和出气口轴向呈90度角；所述进气口采用大口径多路进气导管设计，进气口直径为球形炉体直径的1/2；所述出气口为多个且对称分布，且出气口截面积之和等于进气口截面积；所述球形炉体采用圆球形状，炉体中的炉膛采用弧形结构；所述进气口垂直设置在球形炉体顶端。