[发明专利]易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置有效
| 申请号: | 201510165416.3 | 申请日: | 2015-04-09 |
| 公开(公告)号: | CN104762606B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
| 发明(设计)人: | 何军;李家贵;陆曼婵;张培;陆钊;李超建;杨彤;陆家源;陆曼莎;陆宇秋;刘春玲 | 申请(专利权)人: | 玉林师范学院 |
| 主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/44 |
| 代理公司: | 广西南宁公平知识产权代理有限公司45104 | 代理人: | 杨立华 |
| 地址: | 537000 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 易于 动力学 平衡 石墨 化学 法制 备炉体 装置 | ||
1.一种易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置,主要由炉体及其进气口和出气口组成,其特征在于:所述炉体为球形炉体;所述进气口和出气口轴向呈90度角;所述进气口采用大口径多路进气导管设计,进气口直径为球形炉体直径的1/2;所述出气口为多个且对称分布,且出气口截面积之和等于进气口截面积;所述球形炉体采用圆球形状,炉体中的炉膛采用弧形结构;所述进气口垂直设置在球形炉体顶端。
2.根据权利要求1所述的石墨烯化学气相法制备炉体装置,其特征在于:所述出气口水平设置在球形炉体中部。
3.根据权利要求2所述的石墨烯化学气相法制备炉体装置,其特征在于:所述出气口为2-8个。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





