[发明专利]用于蒸发单元的再加载方法在审
| 申请号： | 201510164034.9 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104911545A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | D·埃斯特韦;F·施特梅伦;C·德奥利维拉 | 申请（专利权）人： | 瑞必尔 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;马江立 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将材料(7)蒸发到安放在真空沉积室中的基质上的蒸发单元(10)的再加载方法，使包含待蒸发材料的第一坩埚(110)与该蒸发单元的蒸发室(100)接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将第一坩埚置于蒸发条件下以便生成材料蒸汽流(116)。该再加载方法包括：将含有待蒸发材料的第二坩埚(120)加载入与相邻蒸发室预先隔离的加载室(200)中的步骤，该加载室中的压力显著大于真空沉积室中的压力；在所述引入步骤之后的封闭步骤，用于使加载室内的压力回到与蒸发第一坩埚时蒸发室的压力相当的水平；释放步骤，在该步骤中第一坩埚被从蒸发室转移到加载室；接合第二坩埚与蒸发室的步骤；和将第二坩埚置于蒸发条件下的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发 单元 再加 方法 | ||
【主权项】：
用于蒸发单元(10)的再加载方法，该蒸发单元用于蒸发待沉积到基质(2)上的材料(7)，该基质被安置于真空沉积室(20)中，使包含所述待蒸发材料(7)的第一坩埚(110)与所述蒸发单元(10)的蒸发室(100)相接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将所述第一坩埚(110)置于蒸发条件下，以生成经过所述蒸发室(100)的输出开孔(103)的材料蒸汽流(116)，所述输出开孔(103)附接在注射器(13)上，以将所述蒸汽注射到所述真空沉积室(20)中，所述再加载方法包括：‑向加载室(200)中加载含有待蒸发材料的第二坩埚(120)的步骤，该加载室是预先与所述相邻蒸发室(100)隔离的，所述加载室(200)中的压力显著大于该真空沉积室(20)中的压力，‑在所述引入步骤之后，封闭所述加载室(200)的封闭步骤，用于使所述加载室(200)内的压力回到与所述第一坩埚(110)蒸发时所述蒸发室(100)中的压力相当的水平，‑在所述封闭步骤之后，从所述蒸发室(100)释放所述第一坩埚(110)的步骤，在该释放步骤期间所述第一坩埚(110)被从所述蒸发室(100)转移到所述加载室(200)，‑在释放所述第一坩埚(110)的所述步骤之后，使所述第二坩埚(120)与所述蒸发室(100)接合的步骤，和‑在接合所述第二坩埚(120)的所述步骤之后，将所述第二坩埚(120)置于蒸发条件下的步骤，用以生成经过该蒸发室(100)的所述输出开孔(103)的材料(7)的蒸汽流(126)，其特征在于，在接合所述第二坩埚(120)的所述步骤中，使所述加载室(200)与所述蒸发室(100)以及与所述真空沉积室(20)相隔离。
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