[发明专利]用于蒸发单元的再加载方法

权利要求书

1.用于蒸发单元(10)的再加载方法，该蒸发单元用于蒸发待沉积到基质(2)上的材料(7)，该基质被安置于真空沉积室(20)中，使包含所述待蒸发材料(7)的第一坩埚(110)与所述蒸发单元(10)的蒸发室(100)相接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将所述第一坩埚(110)置于蒸发条件下，以生成经过所述蒸发室(100)的输出开孔(103)的材料蒸汽流(116)，所述输出开孔(103)附接在注射器(13)上，以将所述蒸汽注射到所述真空沉积室(20)中，

所述再加载方法包括：

-向加载室(200)中加载含有待蒸发材料的第二坩埚(120)的步骤，该加载室是预先与所述相邻蒸发室(100)隔离的，所述加载室(200)中的压力显著大于该真空沉积室(20)中的压力，

-在所述引入步骤之后，封闭所述加载室(200)的封闭步骤，用于使所述加载室(200)内的压力回到与所述第一坩埚(110)蒸发时所述蒸发室(100)中的压力相当的水平，

-在所述封闭步骤之后，从所述蒸发室(100)释放所述第一坩埚(110)的步骤，在该释放步骤期间所述第一坩埚(110)被从所述蒸发室(100)转移到所述加载室(200)，

-在释放所述第一坩埚(110)的所述步骤之后，使所述第二坩埚(120)与所述蒸发室(100)接合的步骤，和

-在接合所述第二坩埚(120)的所述步骤之后，将所述第二坩埚(120)置于蒸发条件下的步骤，用以生成经过该蒸发室(100)的所述输出开孔(103)的材料(7)的蒸汽流(126)，

其特征在于，在接合所述第二坩埚(120)的所述步骤中，使所述加载室(200)与所述蒸发室(100)以及与所述真空沉积室(20)相隔离。

2.根据权利要求1所述的再加载方法，其特征在于，在加载所述第二坩埚(120)的所述步骤中，开启所述加载室(200)的舱门(201)，并从所述蒸发单元(10)的外部将所述第二坩埚(120)经过所述舱门(201)引入所述加载室(200)中。

3.根据权利要求2所述的再加载方法，其特征在于，在所述封闭步骤中，关闭所述舱门(201)以便相对于所述蒸发单元(10)的外部密封，并在所述加载室(200)内进行泵送。

4.根据权利要求1至3之一所述的再加载方法，其特征在于：

-在释放第一坩埚(110)的所述步骤中，通过使之穿过插口(12)来将所述第一坩埚(110)从所述蒸发室(100)取出，该插口使所述加载室(200)与所述蒸发室(100)相连通；以及

-在所述第二坩埚(120)的所述接合步骤中，通过使之穿过所述插口(12)来将第二坩埚(120)插入所述蒸发室(100)中，密封地闭塞所述插口(12)以隔离所述加载室(200)和所述蒸发室(100)。

5.根据权利要求1至4之一所述的再加载方法，其特征在于，在使所述第二坩埚(120)与所述蒸发室(100)接合的所述步骤之前，该方法包括在所述加载室(200)中准备所述第二坩埚(120)的步骤，用以减少将所述第二坩埚(120)置于蒸发条件下的所述步骤的持续时间。

6.根据权利要求5所述的再加载方法，其特征在于，所述准备步骤包括在所述加载室(200)中预加热所述第二坩埚(120)直至预设的预加热温度的步骤。