[发明专利]扩散用石英舟的清洗方法

摘要

本发明公开了一种扩散用石英舟的清洗方法，包括以下步骤：(1).清洗液的配置：向清洗槽体内放入数瓶40％的氢氟酸(HF)，数瓶37％的氯酸(HCl)以及数瓶浓度为66％的硝酸(HNO3)，再加入适量的去离子水；(2).对石英舟进行洗涤：将石英舟浸泡盛有清洗液的槽体内；(3).放置30分钟后将石英舟取出，完成对石英舟的清洗。通过利用硝酸根离子(NO₃^-)在酸性条件下是一种非常强烈的氧化剂的特性来溶解极微量的金属元素，同时盐酸提供的氯离子(Cl^-)则可以与溶液中的金属离子反应，使金属离子在氯离子的配位作用下减少，达到保证石英舟清洗的质量、提高产品的质量、减轻石英舟受到的腐蚀和延长石英舟使用寿命的目的。

主权项

一种扩散用石英舟的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：(1).清洗液的配置：向清洗槽体内放入数瓶40％的氢氟酸(HF)，数瓶37％的氯酸(HCl)以及数瓶浓度为66％的硝酸(HNO3)，配置成石英舟清洗液；(2).对石英舟进行洗涤：将石英舟放入清洗槽体内，开启氮气鼓泡，使溶液充分混合，以保证石英舟各部分都清洗均匀；(3).清洗完成后，将石英舟从清洗液中取出，浸泡在盛有去离子水的水槽中，开启溢流阀保持40分钟；(4).将石英舟从去离子水中取出，用压缩空罐暖气吹干，完成石英舟的整个清洗。