[发明专利]扩散用石英舟的清洗方法在审
| 申请号： | 201510155822.1 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104741335A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭建东;樊选东;钱明星;关统州 | 申请（专利权）人： | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李中华 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 石英 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散用石英舟的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1).清洗液的配置：向清洗槽体内放入数瓶40％的氢氟酸(HF)，数瓶37％的氯酸(HCl)以及数瓶浓度为66％的硝酸(HNO3)，配置成石英舟清洗液；
(2).对石英舟进行洗涤：将石英舟放入清洗槽体内，开启氮气鼓泡，使溶液充分混合，以保证石英舟各部分都清洗均匀；
(3).清洗完成后，将石英舟从清洗液中取出，浸泡在盛有去离子水的水槽中，开启溢流阀保持40分钟；
(4).将石英舟从去离子水中取出，用压缩空罐暖气吹干，完成石英舟的整个清洗。
2.根据权利要求1所述的扩散用石英舟的清洗方法，其特征在于，所述清洗槽体的容积与HF、HCL和HNO3的用量配比为：350：32：8：16。
3.根据权利要求1所述的扩散用石英舟的清洗方法，其特征在于，所述HF浓度为40％，HCL的浓度为37％，HNO3的浓度为66％。
4.根据权利要求1所述的扩散用石英舟的清洗方法，其特征在于，步骤(3)中的去离子水没过石英舟，保证石英舟完全浸泡在去离子水内。
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