[发明专利]用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托有效
| 申请号： | 201510155485.6 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104711670B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 刘吉山;沈大伟;刘正太;李明颖;姚岐;樊聪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，包括圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔；所述手柄上设置有抓取孔，机械手通过抓取孔抓取并抽出方形托。本发明设计的样品托既可以适用于分子束外延设备中的样品架，同时也适用于角分辨光电子能谱测试中的样品架，从而实现分子束外延/角分辨光电子能谱仪集成系统原位生长和原位电子结构测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分子 外延 生长 分辨 光电子 测试 样品 | ||
【主权项】：
一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于，所述样品托至少包括：圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上，所述压片的材质为弹性材料；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔。
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