[发明专利]用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托有效
| 申请号： | 201510155485.6 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104711670B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 刘吉山;沈大伟;刘正太;李明颖;姚岐;樊聪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 分子 外延 生长 分辨 光电子 测试 样品 | ||
1.一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于，所述样品托至少包括：圆形托、压片、方形托；
所述压片通过固定件固定在所述圆形托上，所述压片的材质为弹性材料；
所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；
所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔。
2.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述手柄上设置有抓取孔，机械手通过抓取孔抓取并抽出方形托。
3.根据权利要求2所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述抓取孔的圆心和观察孔的圆心在垂直方向上重叠。
4.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述方形托的样品承载部部分或者全部压在所述压片和圆形托之间。
5.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述槽体的形状为条状，宽度范围为0.8～1.2cm，深度范围为1.5～2.5mm。
6.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述压片的材质为耐高温低蒸气压的弹性材料，所述压片的形状为方形、梯形或者圆形。
7.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述圆形托和固定件的材质一致。
8.根据权利要求7所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述圆形托和固定件的材质为钼金属。
9.根据权利要求1所述的用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，其特征在于：所述方形托的材质为铜金属。
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