[发明专利]一种石墨表面钛金属化方法及其制备的产品有效
| 申请号： | 201510146806.6 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104694897B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李启寿;李强;程亮;王伟;陈林;杨勇;龙亮 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司51214 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨表面钛金属化方法及其制备的产品，目的在于解决石墨与金属Cu及Cu合金连接时，存在石墨难被液态金属润湿，及两者膨胀系数、弹性模量差别大，连接困难的问题。本发明先利用磁控溅射法在石墨基体表面沉积钛膜，再对沉积的钛膜进行热等静压处理，从而在石墨基体表面形成钛薄膜。本发明能够有效解决非金属材料石墨在扩散连接工艺中表面钛金属化层膜基结合强度低的问题，能够在石墨基体上制备高膜基结合强度金属钛薄膜。本发明的钛薄膜中，钛的浓度由石墨基体向外逐渐增大，呈梯度分布，钛镀层与基体具有良好的结合强度。本发明能够满足聚变堆面向等离子材料研究的需要，对于聚变堆相关元件的发展具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 表面 金属化 方法 及其 制备 产品 | ||
【主权项】：
一种石墨表面钛金属化方法，其特征在于，包括如下步骤：先利用磁控溅射法在石墨基体表面沉积钛膜，再对沉积的钛膜进行热等静压处理，从而在石墨基体表面形成钛薄膜；所述基体为石墨基体，所述磁控溅射的靶材为钛。
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