[发明专利]一种基板检测装置及突起高度检测方法在审
| 申请号： | 201510145225.0 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104698632A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 刘桂林;李晶晶;崔秀娟;李娟;张红岩;于闪闪 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 鞠永善 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板检测装置及突起高度检测方法，属于显示基板检测技术领域。基板检测装置包括：用于承载待检测基板的载台以及传感器支架，所述传感器支架的一端设置有测高传感器，所述测高传感器为圆锥体结构，其用于检测待检测基板的一端端面的直径小于另一端端面的直径。该基板检测装置及突起高度检测方法能够解决彩膜基板上突起缺陷高度测量不准确以及缺陷高度计算不准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 突起 高度 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括：用于承载待检测基板的载台以及传感器支架，所述传感器支架的一端设置有测高传感器，所述测高传感器为圆锥体结构，其用于检测待检测基板的一端端面的直径小于另一端端面的直径。
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