[发明专利]气体供给机构和气体供给方法以及使用其的成膜装置和成膜方法

摘要

本发明以短时间且大流量供给由液体原料或固体原料生成的原料气体，并且避免原料的浪费。具备收纳固体状或液体状的原料的原料容器(1)；在原料容器(1)中加热原料的加热器(2)；向原料容器(1)内供给载气的载气供给配管(3)；控制载气的流量的流量控制器(4)；向腔室(10)供给原料气体的原料气体供给配管(5)；设置于原料气体供给配管(5)的腔室(10)附近的原料气体供给·切断阀(6)；和气体供给控制器(8)，进行控制使得控制流量控制器(4)，并且在关闭原料气体供给·切断阀(6)的状态下，通过流通载气，使原料容器(1)和原料气体供给配管(5)成为高压状态之后，打开原料气体供给·切断阀(6)。

主权项

一种气体供给方法，将固体状或液体状的原料收纳于原料容器内，在所述原料容器中将所述原料加热使其升华或气化，经由载气供给配管向所述原料容器内供给载气，将在所述原料容器内升华或气化而生成的原料气体与所述载气一起经由原料气体供给配管供给对被处理体进行成膜处理的腔室，该气体供给方法的特征在于：在所述原料气体供给配管的所述腔室附近，设置用于在成膜处理时向所述腔室供给和切断所述原料气体而进行开关的原料气体供给·切断阀，控制所述载气的流量，并且在关闭所述原料气体供给·切断阀的状态下，通过流通所述载气，使所述原料容器内和所述原料气体供给配管内成为高压状态之后，打开所述原料气体供给·切断阀，检测所述原料容器或所述原料气体供给配管的压力，在该检测值超过设定值时，停止所述载气的供给。