[发明专利]激光加工装置以及激光加工方法

摘要

本发明提供一种即使频率发生变动，也能够准确地判定激光脉冲的良好及不良的激光加工装置及激光加工方法。光束扫描器使脉冲激光束入射到加工对象物，并且使表面的入射位置移动。光检测器检测各激光脉冲的依赖于脉冲能量的物理量。路径切换器将脉冲激光束的路径在入射到加工对象物的第1路径与不入射到加工对象物的第2路径之间进行切换。控制装置控制光束扫描器，以使脉冲激光束按照加工顺序入射到被加工点的位置，同时检测依赖于脉冲能量的物理量，根据物理量的分布来确定物理量的容许范围。在加工过程中，控制装置使通过光检测器检测出的物理量在容许范围内的激光脉冲的至少一部分沿着第1路径传播，使超出容许范围的激光脉冲沿着第2路径传播。

主权项

一种激光加工装置，其具有：激光光源，输出脉冲激光束；载物台，保持加工对象物；光束扫描器，使从所述激光光源输出的所述脉冲激光束入射到所述加工对象物，并且使所述加工对象物表面上的入射位置移动；光检测器，检测从所述激光光源输出的所述脉冲激光束的各激光脉冲的依赖于脉冲能量的物理量；路径切换器，将从所述激光光源输出的所述脉冲激光束的路径在入射到所述加工对象物的第1路径与不入射到所述加工对象物的第2路径之间进行切换；及控制装置，存储所述加工对象物表面的多个被加工点的位置及加工顺序，并根据所述被加工点的位置、所述加工顺序及所述光检测器的检测结果来控制所述光束扫描器及所述路径切换器，所述控制装置执行加工前准备工序，在所述加工前准备工序中控制所述光束扫描器，以使所述脉冲激光束按照所述加工顺序入射到所述被加工点的位置，同时通过所述光检测器检测各个激光脉冲的依赖于脉冲能量的所述物理量，并根据所述物理量的分布来确定所述物理量的容许范围，在所述加工前准备工序之后，所述控制装置在所述加工对象物的加工过程中使通过所述光检测器检测出的所述物理量在所述容许范围内的激光脉冲的至少一部分沿着所述第1路径传播，使超出所述容许范围的激光脉冲沿着所述第2路径传播。