[发明专利]一种MEMS加速度计读出电路

摘要

本发明提供一种MEMS加速度计读出电路，其中，包括输出模块，所述输出模块为一个差分输出与单端输出的输出转换模块，所述输出转换模块为双端差动式信号检测处理结构。可在外部搭建电容桥，可适用于各种加速度计表头，解决直流偏移问题，且电路精度高输出信号的分辨率高。

主权项

1.一种MEMS加速度计读出电路，其特征在于，包括输出模块，所述输出模块为一个差分输出与单端输出的输出转换模块，所述输出转换模块为双端差动式信号检测处理结构；还包括前端检测放大器模块，所述前端检测放大器模块为开放式结构；还包括标定电容模块，所述标定电容模块包括两片精确匹配的固定电容；所述加速度计读出电路实现开环和闭环两种信号处理方式；连接加速度计表头，表头驱动极板接地，得到开环差分输出V_ctfp、V_ctfn，将差分输出端V_ctfp、V_ctfn与差分转单端模块输入端V_inp、V_inn连接得到单端输出信号V_out；连接加速度计表头，表头驱动极板与高压运放模块输出S_dtop、S_dbot连接，通过控制模块外接电容电阻，构成闭环控制回路，得到闭环差分输出V_PIon、V_PIop，将差分输出端V_PIon、V_PIop与差分转单端模块输入端V_inn、V_inp连接得到单端输出信号V_out。