[发明专利]一种MEMS加速度计读出电路

权利要求书

1.一种MEMS加速度计读出电路，其特征在于，包括输出模块，所述输出模块为一个差分输出与单端输出的输出转换模块，所述输出转换模块为双端差动式信号检测处理结构；

还包括前端检测放大器模块，所述前端检测放大器模块为开放式结构；

还包括标定电容模块，所述标定电容模块包括两片精确匹配的固定电容；

所述加速度计读出电路实现开环和闭环两种信号处理方式；

连接加速度计表头，表头驱动极板接地，得到开环差分输出V_ctfp、V_ctfn，将差分输出端V_ctfp、V_ctfn与差分转单端模块输入端V_inp、V_inn连接得到单端输出信号V_out；

连接加速度计表头，表头驱动极板与高压运放模块输出S_dtop、S_dbot连接，通过控制模块外接电容电阻，构成闭环控制回路，得到闭环差分输出V_PIon、V_PIop，将差分输出端V_PIon、V_PIop与差分转单端模块输入端V_inn、V_inp连接得到单端输出信号V_out。

2.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括一个内部温度传感模块，所述内部集成温度传模块包括温度传感器和运算放大器，所述转换输出模块输出端与温度传感器输出端连接所述运算放大器的输入端。

3.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括自检测模块，所述自检测模块具有单独的一个输入端和输出端。

4.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括开关电容低通滤波器模块、连续时间低通滤波器模块和通过外接电容可构成闭环控制的控制器模块。

5.根据权利要求4所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，所述控制器模块包括PI控制器和Lead-Lag控制器。

6.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括为电路提供电源以及基准电压的电源与基准电压模块。

7.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括时钟信号发生器模块。

8.根据权利要求1所述的MEMS加速度计读出电路，其特征在于，还包括可输出可用于加速度计闭环系统反馈控制的高压模块。