[发明专利]一种变色薄膜的制造工艺在审

专利信息
申请号: 201510139282.8 申请日: 2015-03-28
公开(公告)号: CN104975258A 公开(公告)日: 2015-10-14
发明(设计)人: 金钧 申请(专利权)人: 桐城市新丰彩印包装有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 231400 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明通过采用La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3,提供本发明提供一种变色薄膜的制造工艺,然后通过在所述基板上镀一层氮化膜之后,添加一道高温热裂解的步骤,这样制备出来的薄膜在处于不同温度的时候,薄膜就会呈现不同的颜色,热致变色薄膜具有体积小、重量轻、可靠性高等优点,相比于热致变色块体材料可以更好地满足航天器对器件轻量化的要求,而且制备简单,物美价廉。
搜索关键词: 一种 变色 薄膜 制造 工艺
【主权项】:
一种变色薄膜的制造工艺,其特征在于,其具体步骤为:(1)原料选取:所述薄膜制备的材料采用La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3;(2)制前准备:采用固相反应法制备步骤(1)中La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3块体材料,再将块体材料进行机械加工,制备出圆片状靶材并对对基片和靶材进行清洗;(3)将步骤(2)中的将所述基板放入真空镀膜腔内,在所述基板的表面镀上一层氮化膜;将镀膜后的基板从真空镀膜腔中取出,放入高温炉进行热裂解;将热裂解后的基板从高温炉中取出,进行冷却。
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