[发明专利]一种变色薄膜的制造工艺在审
| 申请号： | 201510139282.8 | 申请日： | 2015-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104975258A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 金钧 | 申请（专利权）人： | 桐城市新丰彩印包装有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 231400 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 变色 薄膜 制造 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种变色薄膜的制造工艺，其特征在于，其具体步骤为：
（1）原料选取：所述薄膜制备的材料采用La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3；
（2）制前准备：采用固相反应法制备步骤(1)中La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3块体材料，再将块体材料进行机械加工，制备出圆片状靶材并对对基片和靶材进行清洗；
（3）将步骤（2）中的将所述基板放入真空镀膜腔内，在所述基板的表面镀上一层氮化膜；将镀膜后的基板从真空镀膜腔中取出，放入高温炉进行热裂解；将热裂解后的基板从高温炉中取出，进行冷却。
2.根据权利要求1所述的一种变色薄膜的制造工艺，其特征在于，步骤(1)中的La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3块体材料采用固相反应法制备。
3.根据权利要求1所述的一种变色薄膜的制造工艺，其特征在于，步骤(2)所述基板为不锈钢基板。
4.根据权利要求1所述的一种变色薄膜的制造工艺，其特征在于，所述基板进行真空镀膜时，以氩气、氮气及乙炔的混合气体作为工作气体。
5.根据权利要求1所述的一种变色薄膜的制造工艺，其特征在于，所述所述氩气与氮气的比例为5∶1。
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