[发明专利]一种新型电池背腐蚀提高转换效率的方法

摘要

本发明公开了一种新型电池背腐蚀提高转换效率的方法，其步骤包括：1)刻蚀槽药液选择硝酸、氢氟酸、硫酸和水的混合液，溶液配比选择硝酸：氢氟酸：硫酸：水＝4.5:1:2:2；2)采用链式滚轮槽体，让扩散后硅片带有PN结的那一面朝上，在液位上漂浮滑行过刻蚀槽；3)溶液温度设定8～10度，经过刻蚀槽的时间1～1.5分钟，腐蚀深度控制在2～3um；4)刻蚀后的硅片依次通过水洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗最后吹干。本发明利用硝酸、氢氟酸的特殊配比，达到背制绒的目的，突破目前的背腐蚀工艺局限，增加光在硅片体内的折射次数，从而提高电池片的转换效率。

主权项

一种新型电池背腐蚀提高转换效率的方法，其特征在于，其步骤包括：1)刻蚀槽药液选择硝酸、氢氟酸、硫酸和水的混合液，溶液配比选择硝酸：氢氟酸：硫酸：水＝4.5:1:2:2，通过降低硝酸浓度控制表面结构；2)采用链式滚轮槽体，让扩散后硅片带有PN结的那一面朝上，在液位上漂浮滑行过刻蚀槽；3)溶液温度设定8～10度，经过刻蚀槽的时间1～1.5分钟，腐蚀深度控制在2～3μm；4)刻蚀后的硅片依次通过水洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗最后吹干。