[发明专利]加工头及沟槽加工装置在审

专利信息
申请号: 201510125613.2 申请日: 2015-03-20
公开(公告)号: CN104952770A 公开(公告)日: 2015-09-30
发明(设计)人: 片桐直树 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本大阪府*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明是关于一种加工头及沟槽加工装置,构成为能够以狭窄的间距并列地设置多个头单元的工具。第1头单元31A,在基座42通过线性导引件43设置有工具保持具44,该工具保持具44可在z轴方向移动自如。第2头单元31B,也同样地在基座46通过线性导引件47设置有工具保持具48,且该工具保持具48可在z轴方向移动自如。头单元31A的工具与线性导引件的x轴方向的间隔Wa2,与头单元31B的工具与线性导引件的x轴方向的间隔Wb2不同。在交互地配置头单元31A及31B时,借由使线性导引件43、47的位置错开且避免干扰而使头单元的间距变窄。
搜索关键词: 工头 沟槽 加工 装置
【主权项】:
一种加工头,其特征在于,具备:前端具有工具的多个第1头单元、前端具有工具的多个第2头单元、以一定间隔交互地安装有该第1及第2头单元的构架、以及分别在z轴方向独立地驱动该第1及第2头单元的工具的驱动装置;该第1头单元,具备:固定于该构架的基座、在前端保持该工具的工具保持具、以及使其工具保持具相对于该基座而在z轴方向移动自如的线性导引件;该第2头单元,具备:固定于该构架的基座、在前端保持该工具的工具保持具、以及使其工具保持具相对于该基座而在z轴方向移动自如的线性导引件;该第1及第2头单元,相对于与z轴垂直的x轴方向从各自的工具至线性导引件的间隔相互不同;该构架,是该各头单元的工具在y轴方向为一定间隔,且以使各头单元的线性导引件x轴方向的位置错开的方式交互地配置有该第1及第2头单元。
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