[发明专利]加工头及沟槽加工装置

权利要求书

1.一种加工头，其特征在于，具备：

前端具有工具的多个第1头单元、

前端具有工具的多个第2头单元、

以一定间隔交互地安装有该第1及第2头单元的构架、

以及分别在z轴方向独立地驱动该第1及第2头单元的工具的驱动装置；

该第1头单元，具备：

固定于该构架的基座、

在前端保持该工具的工具保持具、

以及使其工具保持具相对于该基座而在z轴方向移动自如的线性导引件；

该第2头单元，具备：

固定于该构架的基座、

在前端保持该工具的工具保持具、

以及使其工具保持具相对于该基座而在z轴方向移动自如的线性导引件；

该第1及第2头单元，相对于与z轴垂直的x轴方向从各自的工具至线性导引件的间隔相互不同；

该构架，是该各头单元的工具在y轴方向为一定间隔，且以使各头单元的线性导引件x轴方向的位置错开的方式交互地配置有该第1及第2头单元。

2.根据权利要求1所述的加工头，其特征在于，该加工头，在配置工具保持具的与y轴垂直的x轴方向正及负位置相互地组合有该第1及第2头单元并配置于该构架。

3.一种加工头，其特征在于，具备：

前端具有工具的多个头单元、

以一定间隔安装有该头单元的构架、

以及分别在z轴方向独立地驱动该头单元工具的驱动装置；

该头单元，具备：

固定于该构架的基座、

在前端保持该工具的工具保持具、

以及使其工具保持具相对于该基座而在z轴方向移动自如的线性导引件；

该头单元，包括相对于与z轴垂直的x轴方向从各自的工具至线性导引件的间隔相互不同的至少2种类的头单元；

该构架，该各头单元的工具在y轴方向为一定间隔，且以使相邻的头单元线性导引件的x轴方向位置错开的方式，将从工具至线性导引件的间隔相互不同的该头单元相邻地配置。

4.根据权利要求3所述的加工头，其特征在于，该加工头，在配置工具保持具的与y轴垂直的x轴方向正及负位置组合有该至少2种类的头单元并配置于该构架。

5.一种沟槽加工装置，其特征在于，具备：

载置基板的平台、

装附用于沟槽加工工具的权利要求1至4项中任一项的加工头、

及用于使该平台与该加工头在水平面内相对移动的移动装置；

使该加工头平行移动于基板上面，在基板上形成沟槽。