[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体在审
| 申请号： | 201510119251.6 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN104931074A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 竹内淳一;衣川拓也 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01L9/06;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体。提供即使实现小型化也能够提高信噪比的物理量传感器，此外，提供具有该物理量传感器的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具有：多个膜片部(64)，它们因受压而挠曲变形；以及多个压电电阻元件(7)，它们配置于彼此不同的膜片部(64)上，以串联方式电连接。多个压电电阻元件(7)构成电桥电路。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 压力传感器 高度计 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：多个膜片部，该多个膜片部因受压而挠曲变形；以及多个压电电阻元件，该多个压电电阻元件配置在彼此不同的所述膜片部上，以串联方式电连接。
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