[发明专利]一种电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高线性的MEMS压力传感器，包括具有球冠状凹坑的下极板和平板状上极板，下极板自下而上包括硅衬底、第一导电层及第一绝缘层，上极板自下而上包括第二绝缘层、第二导电层及第三绝缘层，第一绝缘层与第二绝缘层间形成密封的球冠状腔体。其制备方法包括下极板制备工艺、上极板制备以及上下极板的键合工艺。本发明的传感器以新型的球冠状腔体作为下极板，三层复合薄膜作为可弯曲变形的上极板，在外界压力作用下，上电极从球冠边缘开始与球冠接触，使传感器在初始阶段即可工作在线性区间。本发明传感器的线性度有较大的提升，可为胎压监测等多种工业与消费电子领域的压力检测提供新的压力传感器解决方案。

主权项

一种电容式压力传感器，其特征在于包括具有球冠状凹坑（8）的下极板和平板状上极板，下极板自下而上包括硅衬底（1）、第一导电层（2）及第一绝缘层（3），上极板自下而上包括第二绝缘层（4）、第二导电层（5）及第三绝缘层（6），上极板置于下极板上，下极板的第一绝缘层（3）与上极板的第二绝缘层（4）间形成密封的球冠状腔体，下极板的球冠状凹坑（8）底部具有圆柱形盲孔（7），球冠状凹坑（8）开口半径为圆柱形盲孔（7）直径的20‑50倍，圆柱形盲孔（7）深宽比大于3。