[发明专利]LED结构及其制作方法、发光方法

摘要

本发明提供了一种LED结构及其制作方法、发光方法，通过位于半球形支撑结构上的反射层以及凸面聚光体阵列的共同作用，能够出射平行光，从而使得LED具有较好的方向性，能够在某些领域替代激光更好地发挥作用。进一步的，通过第一衬底上的多个凸形结构能够提高LED的晶体质量和发光效率。此外，本发明提供的所述LED结构制作方法工艺简单、成本低廉、适于大规模商业化生产。

主权项

一种LED结构制作方法，其特征在于，包括：提供第一衬底，所述第一衬底包括第一表面和第二表面，其中，所述第一表面和/或第二表面上具有多个凸形结构，每个表面上的多个凸形结构组成凸面聚光体阵列；在所述第一表面上顺次形成N型层、有源层及P型层；去除部分P型层、有源层及N型层，以形成N区台面结构；形成电流阻挡层，所述电流阻挡层覆盖部分P型层以及N区台面结构的侧壁，以在所述P型层上形成有效电极区阵列，其中，每个有效电极区的中心与一凸形结构的中心相对应；形成电极层，所述电极层覆盖所述电流阻挡层及有效电极区阵列，以在有源层中形成准点光源阵列，每个准点光源与对应的一凸面聚光体的焦点重合；形成多个半球形支撑结构，所述多个半球形支撑结构露出部分电极层，每个半球形支撑结构覆盖一准点光源，每个半球形支撑结构的球心与对应的一准点光源重合；形成反射层，所述反射层覆盖多个半球形支撑结构及露出的部分电极层；在所述N区台面结构中形成槽口结构；在所述反射层上形成P电极，在所述槽口结构中形成N电极；提供第二衬底，所述第二衬底包括P极区以及与所述P极区绝缘分离的N极区；将所述P电极与所述P极区键合在一起，所述N电极与所述N极区键合在一起。