[发明专利]Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统

摘要

Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，涉及Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源技术。它为了解决常规的光源收集系统远场均匀性不好、反射率低的问题。本发明采用内嵌式Wolter I型收集系统实现，结合Xe介质毛细管放电EUV光源特性获得13.5nm极紫外输出空间分布规律，设计反射镜共十层，实现内嵌式Wolter I型收集镜。多层反射镜依次共轴内嵌，每层反射镜由一个回转椭球面和一个回转双曲面连接而成，回转椭球面与回转双曲面具有一个公共焦点，各层反射镜的公共焦点重合，最外层反射镜最大直径为458mm，提高了系统远场均匀性和反射率。本发明适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。

主权项

Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，其特征在于：该光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统实现，由多层圆桶状反射镜构成，所述多层圆桶状反射镜依次共轴内嵌，每层反射镜由一个回转椭球面(1)和一个回转双曲面(2)连接而成，且该回转椭球面(1)与该回转双曲面(2)具有一个公共几何焦点，即公共焦点(4)，各层反射镜的公共焦点重合。