[发明专利]Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统无效
| 申请号： | 201510084936.1 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN104570623A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 王骐;徐强;赵永蓬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/10 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | xe 介质 毛细管 放电 检测 紫外 光源 光学 收集 系统 | ||
【权利要求书】：
1.Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，其特征在于：该光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统实现，由多层圆桶状反射镜构成，所述多层圆桶状反射镜依次共轴内嵌，每层反射镜由一个回转椭球面(1)和一个回转双曲面(2)连接而成，且该回转椭球面(1)与该回转双曲面(2)具有一个公共几何焦点，即公共焦点(4)，各层反射镜的公共焦点重合。
2.根据权利要求1所述的Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，其特征在于：所述的光学收集系统由10层反射镜构成，最外层反射镜最大直径为458mm。
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