[发明专利]一种硅片盒搬送系统及搬运方法

摘要

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，提供了一种硅片盒搬送系统，包括输送车以及工艺设备，输送车的车身上设有感测单元、控制单元以及驱动单元；感测单元用于采集装载台的图像，控制单元将采集的图像与预设图像进行对比，并确认待修正的距离，驱动单元用于接收控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整输送车的位置，直至采集的图像与预设图像重合。本发明的输送车具备位置修正功能，保证输送车行驶至装载台正上方时进行硅片盒取放动作，由于输送车具备位置修正功能，因此工艺设备在前期安装的过程中，与轨道位置对准时的偏差容许量得以增加，从而大大减少工艺设备就位时耗费的人力和时间。

主权项

一种硅片盒搬送系统，包括输送车以及工艺设备，所述输送车用于抓取硅片盒并沿着轨道行驶，所述工艺设备具有用于放置所述硅片盒的装载台；其特征在于，所述输送车的车身上设有感测单元、控制单元以及驱动单元；其中，所述感测单元用于采集所述装载台的图像，所述控制单元将采集的图像与预设图像进行对比，并确认待修正的距离，所述驱动单元用于接收所述控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整所述输送车的位置，直至采集的图像与预设图像重合，以消除工艺设备与轨道预设位置对准偏差；所述控制单元与物料控制系统连接，所述控制单元同时将待修正距离的信息发送至所述物料控制系统；所述物料控制系统与其他输送车的控制单元连接，用于将待修正距离的信息发送至其他输送车的控制单元，其他输送车的驱动单元用于接受待修正距离的信息并调整其自身的位置，使其最终停止在所述装载台的正上方位置。