[发明专利]一种硅片盒搬送系统及搬运方法

权利要求书

1.一种硅片盒搬送系统，包括输送车以及工艺设备，所述输送车用于抓取硅片盒并沿着轨道行驶，所述工艺设备具有用于放置所述硅片盒的装载台；其特征在于，

所述输送车的车身上设有感测单元、控制单元以及驱动单元；其中，所述感测单元用于采集所述装载台的图像，所述控制单元将采集的图像与预设图像进行对比，并确认待修正的距离，所述驱动单元用于接收所述控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整所述输送车的位置，直至采集的图像与预设图像重合，以消除工艺设备与轨道预设位置对准偏差；

所述控制单元与物料控制系统连接，所述控制单元同时将待修正距离的信息发送至所述物料控制系统；所述物料控制系统与其他输送车的控制单元连接，用于将待修正距离的信息发送至其他输送车的控制单元，其他输送车的驱动单元用于接受待修正距离的信息并调整其自身的位置，使其最终停止在所述装载台的正上方位置。

2.根据权利要求1所述的硅片盒搬送系统，其特征在于，所述装载台的中心位置处设有十字形的中心线。

3.根据权利要求1所述的硅片盒搬送系统，其特征在于，所述装载台上设有多个信息脚位。

4.根据权利要求3所述的硅片盒搬送系统，其特征在于，所述控制单元通过无线网络与物料控制系统连接。

5.根据权利要求1所述的硅片盒搬送系统，其特征在于，所述物料控制系统通过无线网络与其他输送车连接。

6.一种基于权利要求1-5任一所述的硅片盒搬送系统的搬运方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S01、所述输送车抓取硅片盒行驶至所述工艺设备的装载台上方；

步骤S02、所述输送车的感测单元对所述装载台进行图像采集，并将采集的图像反馈至所述控制单元；

步骤S03、所述控制单元将采集的图像与预设图像进行对比，并确认待修正的距离，所述控制单元同时将待修正距离的信息通过物料控制系统反馈至其他输送车的控制单元；

步骤S04、所述驱动单元接收所述控制单元发送的待修正距离的信息，并调整所述输送车的位置，直至采集的图像与预设图像重合，使其最终停止在所述装载台的正上方位置，以消除工艺设备与轨道预设位置对准偏差，其他输送车的驱动单元也接受到待修正距离的信息后调整其自身位置，其他输送车的驱动单元驱动相应的输送车调整位置，使其最终停止在所述装载台的正上方；

步骤S05、所述输送车的抓取装置将硅片盒下降并放置在所述装载台上后，输送车离开。

7.根据权利要求6所述的硅片盒搬送系统的搬运方法，其特征在于，所述装载台上具有十字形的中心线图像和/或多个信息脚位图像。