[发明专利]阵列基板及其制作方法和显示装置

摘要

本发明涉及一种阵列基板及其制作方法，该阵列基板包括薄膜晶体管，与薄膜晶体管的有源层同层设置的辅助电极，以及与辅助电极电连接的透明阴极，其中所述有源层为氧化物半导体，所述辅助电极为经等离子体处理过的氧化物半导体。根据本发明的技术方案，将有源层和辅助电极设置于同一层，因此可通过同一道刻蚀工艺形成有源层和辅助电极，无需增设形成辅助电极的工艺，从而减少阵列基板的整体工艺时间，节约了制作成本。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：薄膜晶体管，与所述薄膜晶体管的有源层同层设置的辅助电极，以及与所述辅助电极电连接的透明阴极，其中所述有源层为氧化物半导体，所述辅助电极为经等离子体处理过的氧化物半导体；所述阵列基板还包括设置在所述辅助电极上的第一刻蚀阻挡层，以防止辅助阴极在形成源漏极时受到损伤，其中，所述第一刻蚀阻挡层中设置有过孔，所述透明阴极通过所述第一刻蚀阻挡层中的过孔与所述辅助电极电连接。