[发明专利]一种高精密全自动FPC缺陷检测装置及检测工艺

摘要

本发明公开了一种高精密全自动FPC缺陷检测装置及检测工艺。该装置包括上位机系统和显微镜检测平台，上位机系统包括运动控制模块和显微镜视觉控制处理模块。显微镜检测平台包括电动精密载物台、电机控制箱、显微镜固定支架、显微镜、光源和数字摄像头。检测工艺将关键工序的FPC关键物理参数和标准物理参数进行对比，判断出关键工艺的状态异常，并在显示带有缺陷区域及具体缺陷细节的FPC图像，方便操作人员及时、迅速地对异常工序进行处理。本发明大大提高了FPC缺陷检测效率、降低误报率、缺陷检测的精度，增加缺陷检测的类别，能实现10微米级线宽、线距的检测以及盲孔、埋孔的甄别，从而有效的提高FPC生产过程的自动化水平。

主权项

一种高精密全自动FPC缺陷检测装置，包括：上位机系统和显微镜检测平台，其特征在于：上位机系统包括运动控制模块和显微镜视觉控制处理模块；显微镜检测平台包括电动精密载物台、电机控制箱、显微镜固定支架、显微镜、光源和数字摄像头；显微镜安装在显微镜固定支架上，数字摄像头安装在显微镜上方，光源安装在数字显微镜正后方，电动精密载物台安装在显微镜的正下方，且与电机控制箱连接；显微镜视觉控制处理模块分别与数字摄像头、光源相连接，运动控制模块与电机控制箱相连接；电机控制箱内安装有伺服驱动器、电源，伺服驱动器通过控制卡与上位机连接。