[发明专利]一种高精密全自动FPC缺陷检测装置及检测工艺在审
| 申请号: | 201510050903.5 | 申请日: | 2015-01-31 |
| 公开(公告)号: | CN104655641A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
| 发明(设计)人: | 李致富;吕斯俊;胡跃明 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍 |
| 地址: | 511458 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 精密 全自动 fpc 缺陷 检测 装置 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及柔性电路板(FPC)制造关键工序的自动检测技术领域,具体涉及一种高精密全自动FPC缺陷检测装置及检测工艺。
背景技术
柔性电路板(FPC)制造加工工艺较为复杂,就一般的制造流程而言,需经过层压铜箔、贴感光干膜、激光直写曝光、显影、刻蚀、剥膜、激光钻孔、电镀铜、阻焊油墨、通断测试和成型等工序。其中,关键工序主要包括:刻蚀、激光钻孔、铜减薄等。
为了提高FPC制造的稳定性和良率,在FPC的制造过程中,可对FPC关键工序的主要物理参数和缺陷进行自动监控,从而在出现关键工序异常时及时采取应急措施,降低产线故障的风险。这种自动监控系统将有助于降低企业成本,因而越来越受到企业的重视。FPC关键工序的主要物理参数为线宽、线距和孔径大小;而涉及到的产品缺陷主要包括导线锯齿、电路缺少、残铜、电路损伤等。对这些FPC关键物理参数进行自动检测和监控,可及时发现关键工序的异常情况,并可对一定时间周期内的数据进行统计和分析,以改进和优化FPC生产流程。
在现阶段的FPC制造行业中,传统人工检测仍为检测的主要方法。但随着线宽线距越来越小,图像密度越来越高,传统人工检测因检测时间长、误报率高而无法满足产业需求。针对FPC的关键工序,通过模式识别技术进行图像拼接和处理,将FPC关键物理参数与存储在计算机内的标准参数进行对比,判断出关键工艺的状态异常,从而对异常工序进行处理,实现关键工序的自动化检测和监控。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题,本发明的目的是:提供一种对关键工序的关键物理参数进行高效自动检测和监控的一种高精密全自动FPC缺陷检测装置。
为实现上述目的,本发明所提供如下技术方案:
一种高精密全自动FPC缺陷检测装置,包括:上位机系统和显微镜检测平台,上位机系统包括运动控制模块和显微镜视觉控制处理模块;显微镜检测平台包括电动精密载物台、电机控制箱、显微镜固定支架、显微镜、光源和数字摄像头;显微镜安装在显微镜固定支架上,数字摄像头安装在显微镜上方,光源安装在数字显微镜正后方,电动精密载物台安装在显微镜的正下方,且与电机控制箱连接;显微镜视觉控制处理模块分别与数字摄像头、光源相连接,运动控制模块与电机控制箱相连接;电机控制箱内安装有伺服驱动器、电源,伺服驱动器通过控制卡与上位机连接。
进一步的,所述上位机系统通过运动控制模块和显微镜视觉控制处理模块采集图像,并识别出各关键工序对应的FPC关键物理参数和缺陷数据;其中,所述关键工序为刻蚀工序和激光钻孔工序;关键物理参数包括线宽、线距和孔径大小;缺陷数据包括线路缺少和残铜。
进一步的,所述上位机系统的运动控制模块负责控制移动用于放置FPC的电动精密载物台;上位机通过运动控制模块发出采集图像命令后,电机控制箱内伺服驱动器驱动伺服电机,分别通过控制X、Y轴运动导轨来移动电动精密载物台,配合数字摄像头、光源采集图像。
进一步的,所述上位机系统的显微镜视觉控制处理模块负责控制数字摄像头通过显微镜放大后获取FPC局部图像、图像拼接和图像处理,并根据FPC关键物理参数和缺陷数据在各制造工序健康工作状态下的标准数据,实现对数据的比较,最终显示带有缺陷区域及具体缺陷细节的FPC图像。
使用所述高精密全自动FPC缺陷检测装置的FPC缺陷检测工艺,其包括以下步骤:
5.1将FPC放置在电动精密载物台后,操作人员登录上位机系统,打开光源,并在手动对焦后切换到数字摄像头采图模式;
5.2待步骤5.1完成后,伺服电机驱动导轨移动电动精密载物台,使电动精密载物台回到检测原点;
5.3由操作人员在上位机系统输入或在数据库中下载待检测的FPC的标准文件,包括标准图及标准线宽、线距、孔径大小的标准物理参数;
5.4待步骤5.3完成后,数字摄像头采集图像,伺服电机移动X、Y轴运动导轨,使待检测的FPC对准摄像头识别基准点;
5.5运动控制模块控制电机控制箱内的伺服驱动器驱动伺服电机,通过移动X、Y轴运动导轨移动电动精密载物台;按照从左到右,从上而下的顺序,由数字摄像头通过显微镜放大后,对待测FPC进行局部采图,直到把FPC扫描完毕,得到多张对应FPC局部图;
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