[发明专利]金属有机化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TBOT和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料。本发明采用MOCVD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好。

主权项

金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，包括氮气容器(1)、干燥器(2)、阀门(3)、第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)、第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)和冷凝管(10)，氮气容器(1)通过干燥器(2)连接至，第一石英反应器(7)，干燥器(2)通过阀门(3)连接至第二石英反应器(8)，第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)分别放置在第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内分别放置有TBOT(6)和活性炭(9)，第二石英反应器(8)与冷凝管(10)相连，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化锆、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。