[发明专利]金属有机化学气相沉积装置

说明书

技术领域

本发明涉及的是化学设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积装置。

背景技术

纳米粉末TiO₂是有效的光催化剂，但存在回收困难、分散性差、颗粒易团聚等问题，极大地限制了其在废水处理中的实际应用。传统的光催化剂的制备设备不能有效地解决上述问题，因此需要一种新型的制备这种催化剂的设备，以便解决现有存在的问题。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种金属有机化学气相沉积装置，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，实用性强。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TBOT和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器、第二石英反应器的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化锆、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。

作为优选，所述的干燥器采用硅胶干燥器。

作为优选，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55％，二氧化硅2.75％，红柱石12.5％，硅线石12.5％，三氧化二铁0.4％，另外加入占原材料总重6.5％的添加剂。

作为优选，所述第一煅烧器、第二煅烧器内设有温度传感器。

作为优选，所述第一石英反应器、第二石英反应器内设有温度传感器。

作为优选，所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端

本发明具有以下有益效果：本发明采用MOCVD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，远红外辐射涂料的设置，改善了煅烧器内的热交换、提高煅烧器内温度场强及均匀性、使燃料燃烧更充分，达到增加热效率，大大提高耐火材料热效率，减少能耗、节约能源和延长煅烧器内衬使用年限，节能率高。

附图说明

图1为本发明实施例金属有机化学气相沉积装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，本发明实施例提供了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器1、干燥器2、阀门3、第一煅烧器4、第二煅烧器5、第一石英反应器7、第二石英反应器8和冷凝管10，氮气容器1通过干燥器2连接至第一石英反应器7，干燥器2通过阀门3连接至第二石英反应器8，第一石英反应器7、第二石英反应器8分别放置在第一煅烧器4、第二煅烧器5内，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内分别放置有TBOT6和活性炭9，第二石英反应器8与冷凝管10相连，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器7、第二石英反应器8的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化锆、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。

所述的干燥器2采用硅胶干燥器。

所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55％，二氧化硅2.75％，红柱石12.5％，硅线石12.5％，三氧化二铁0.4％，另外加入占原材料总重6.5％的添加剂。

所述第一煅烧器4、第二煅烧器5内设有温度传感器。

所述第一石英反应器7、第二石英反应器8内设有温度传感器。

所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端

实施例1