[发明专利]牵引式分子泵的转子端面测温装置

摘要

本发明公开了一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括外壳，转子，端面法兰，第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第二级分子泵，螺钉通过第三级分子泵圆周处的第三级分子泵连接孔拧入到端面法兰的端面法兰螺纹孔中，螺钉探出端处于第二级分子泵圆周的螺钉连接孔中，过渡件通过外螺纹固定在装配阶梯孔的装配螺纹孔中，其自由端处于过渡件插入孔中，测温组件中的红外探头拧入到过渡件的装配螺孔中。本发明中红外探头通过过渡件与第三级分子泵相固定，在保证第二级分子泵、第三级分子泵的动间隙的情况下，能够方便拆装测温组件，保证了抽气槽的过流面积以及抽气效率。

主权项

一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括圆筒形外壳（9），外壳（9）内部设置有圆柱形转子（1），端面通过插入螺栓孔（30）中的螺栓（5）与端面法兰（4）固定，外壳（9）内部、转子（1）外围、且与转子（1）同轴设置有第一级分子泵（2），与第一级分子泵（2）过盈连接的第三级分子泵（3），第二级分子泵（8）固定在第三级分子泵装配槽（29）中，圆筒形第一级分子泵（2）内壁形成螺旋状第一级抽气槽（27），圆盘形第二级分子泵（8）下端面形成多个沿圆周相间均布的第二级抽气槽（18）和第二级抽气槽壁（17），厚壁圆筒形第三级分子泵（3）下端面形成多个沿圆周相间均布的第三级抽气槽（13）和第三级抽气槽壁（12），第三级分子泵（3）外壁形成第三级侧抽气槽（28），其特征在于：螺钉（24）通过第三级分子泵（3）圆周处的第三级分子泵连接孔（11）拧入到端面法兰（4）的端面法兰螺纹孔（21）中，螺钉（24）探出端处于第二级分子泵（8）圆周的螺钉连接孔（16）中，过渡件（7）通过外螺纹固定在装配阶梯孔（10）的装配螺纹孔（14）中，其自由端处于过渡件插入孔（19）中，测温组件（6）中的红外探头（6a）拧入到过渡件（7）的装配螺孔（33）中，数据线（6b）处于第二级分子泵数据线槽（15）、端面法兰数据线槽（22）中，红外测温装置（6c）通过测温装置安装孔（23）固定在端面法兰（4）中。