[发明专利]牵引式分子泵的转子端面测温装置

权利要求书

1.一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括圆筒形外壳（9），外壳（9）内部设置有圆柱形转子（1），端面通过插入螺栓孔（30）中的螺栓（5）与端面法兰（4）固定，外壳（9）内部、转子（1）外围、且与转子（1）同轴设置有第一级分子泵（2），与第一级分子泵（2）过盈连接的第三级分子泵（3），第二级分子泵（8）固定在第三级分子泵装配槽（29）中，圆筒形第一级分子泵（2）内壁形成螺旋状第一级抽气槽（27），圆盘形第二级分子泵（8）下端面形成多个沿圆周相间均布的第二级抽气槽（18）和第二级抽气槽壁（17），厚壁圆筒形第三级分子泵（3）下端面形成多个沿圆周相间均布的第三级抽气槽（13）和第三级抽气槽壁（12），第三级分子泵（3）外壁形成第三级侧抽气槽（28），其特征在于：螺钉（24）通过第三级分子泵（3）圆周处的第三级分子泵连接孔（11）拧入到端面法兰（4）的端面法兰螺纹孔（21）中，螺钉（24）探出端处于第二级分子泵（8）圆周的螺钉连接孔（16）中，过渡件（7）通过外螺纹固定在装配阶梯孔（10）的装配螺纹孔（14）中，其自由端处于过渡件插入孔（19）中，测温组件（6）中的红外探头（6a）拧入到过渡件（7）的装配螺孔（33）中，数据线（6b）处于第二级分子泵数据线槽（15）、端面法兰数据线槽（22）中，红外测温装置（6c）通过测温装置安装孔（23）固定在端面法兰（4）中。

2.根据权利要求1所述的牵引式分子泵的转子端面测温装置，其特征在于：过渡件（7）内部形成由密封环装配孔（31）、限位孔（32）、装配螺孔（33）组成的阶梯孔，密封环装配孔（31）内壁设置有过渡件密封环（25），过渡件密封环（25）套装在红外探头（6a）外壁处，限位孔（32）阶梯面处设置有红外探头密封垫（26）。

3.根据权利要求1所述的牵引式分子泵的转子端面测温装置，其特征在于：第二级抽气槽（18）、第三级抽气槽（13）呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级抽气槽（18）、第三级抽气槽（13）的槽型均为变宽度的矩形。