[发明专利]分离装置

摘要

本发明提供分离装置，其能够将由第1基板和第2基板接合而成的复合基板分离成第1基板和第2基板。分离装置具备：支承基座，其具备以水平状态支承复合基板的支承面；侧面支承构件，其配设于该支承基座以支承复合基板的外周侧面；剥离构件，其插入第1基板和第2基板的边界部而将它们板剥离，剥离构件包括：剥离部件，其以与支承面平行的状态配设于面对侧面支承构件的位置，具备用于插入边界部的楔部，并具有在楔部的末端开口的气体喷出孔；气体供给构件，其向气体喷出孔供给气体；剥离部件定位构件，其使剥离部件沿与支承基座的支承面垂直的方向移动，将楔部定位于边界部；和剥离部件进退构件，其使楔部相对于边界部前进或后退。

主权项

1.一种分离装置，该分离装置将由第1基板和第2基板接合而成的复合基板分离成第1基板和第2基板，该分离装置的特征在于，所述分离装置具备：支承基座，该支承基座具备以水平状态支承复合基板的支承面；侧面支承构件，该侧面支承构件设置于该支承基座，并对载置于该支承面上的复合基板的外周侧面进行支承；以及剥离构件，该剥离构件插入构成复合基板的第1基板和第2基板的边界部，将第1基板和第2基板剥离，所述复合基板被该支承基座的该支承面和该侧面支承构件支承，该剥离构件包括：剥离部件，该剥离部件以与该支承基座的该支承面平行的状态配设于面对该侧面支承构件的位置，该剥离部件具备用于插入第1基板和第2基板的边界部的楔部，并且具有在该楔部的末端开口的气体喷出孔；气体供给构件，该气体供给构件向该剥离部件的该气体喷出孔供给气体；剥离部件定位构件，该剥离部件定位构件使该剥离部件沿着与该支承基座的该支承面垂直的方向移动，以将该楔部定位于第1基板和第2基板的边界部；以及剥离部件进退构件，该剥离部件进退构件使该剥离部件的该楔部相对于构成复合基板的第1基板和第2基板的边界部前进或后退，所述复合基板被该支承基座的该支承面和该侧面支承构件支承，该侧面支承构件至少由2个辊构成，该2个辊具有上部大径部和下部小径部，并将该复合基板的外周侧面支承成能够转动，在通过该剥离部件对该复合基板进行剥离时，该复合基板的第2基板侧被载置于支承基座的该支承面上，该复合基板的外周由该支承面以及该2个辊的上部大径部和下部小径部支承。