[发明专利]用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法

摘要

本发明涉及用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法。该夹具包括用于夹持生长基底的夹板(1)、用于承载对电极的平板(2)、用于安置参比电极的支撑件(3)和底座(4)，夹板(1)和底座(4)通过支柱(5)固定在一起，平板(2)通过支柱(5)沿着第一方向(y)可调节地安装在夹板(1)和底座(4)之间，且夹板(1)、平板(2)和底座(4)相互平行，所述支撑件(3)设置在夹板(1)和平板(2)之间。该电化学沉积装置包括电解池(6)、上述夹具和电化学工作站(7)，所述电解池(6)用于放置所述夹具。采用本发明的电化学沉积装置制备的材料的均匀性可以得到极大提升。 1

主权项

1.一种用于电化学沉积的夹具，其特征在于，该夹具包括用于夹持生长基底的夹板(1)、用于承载对电极的平板(2)、用于安置参比电极的支撑件(3)和底座(4)，夹板(1)和底座(4)通过支柱(5)固定在一起，平板(2)通过支柱(5)沿着第一方向(y)可调节地安装在夹板(1)和底座(4)之间，且夹板(1)、平板(2)和底座(4)相互平行，所述支撑件(3)设置在夹板(1)和平板(2)之间；

其中，所述夹板(1)包括盖板(11)和底板(12)，盖板(11)和底板(12)之间设置有至少两圈硅胶条，并且在两圈硅胶条之间设置有一圈用于固定工作电极的固定槽；

所述夹具的材质为聚醚醚酮、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚苯硫醚或聚醚酰亚胺。

2.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述盖板(11)上设置有两圈硅胶条(13)，所述底板(12)上设置有一圈硅胶条(13)和一圈用于固定工作电极的固定槽(14)。

3.根据权利要求2所述的夹具，其中，所述盖板(11)上设置有样片卡槽(15)，所述底板(12)上的用于固定工作电极的固定槽(14)位于所述底板(12)上的硅胶条(13)和所述盖板(11)上的样片卡槽(15)外边缘之间。

4.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述底板(12)的厚度不大于2cm。

5.根据权利要求4所述的夹具，其中，所述底板(12)的厚度不大于1.5cm。

6.根据权利要求5所述的夹具，其中，所述底板(12)的厚度不大于3mm。

7.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述支柱(5)设置有螺母(51)和沿着第一方向(y)设置的多个用于插入防滑定位杆(52)的孔，所述平板(2)通过螺母(51)和防滑定位杆(52)稳定在所述支柱(5)上。

8.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述支撑件(3)包括沿第三方向(z)设置并沿第二方向(y)位置可调的第一支撑杆(31)，以及任选地沿着第三方向(z)可调节地设置在第一支撑杆(31)上并且与所述第一支撑杆(31)垂直的第二支撑杆(32)，所述第一支撑杆(31)和所述第二支撑杆(32)上设置有用于插入参比电极的通孔。

9.根据权利要求8所述的夹具，其中，所述支柱(5)设置有螺母(51)和沿着第一方向(y)设置的多个用于插入防滑定位杆(52)的孔，所述第一支撑杆(31)通过螺母(51)和防滑定位杆(52)稳定在所述支柱(5)上。

10.一种电化学沉积装置，该装置包括电解池(6)、权利要求1‑9中任意一项所述的夹具和电化学工作站(7)，所述电解池(6)用于放置所述夹具，所述电化学工作站(7)配有工作电极(71)、参比电极(72)和对电极(73)接头，所述工作电极、所述参比电极和所述对电极均安装在所述夹具中并通过导线与电化学工作站的接头相连。

11.采用权利要求10所述的电化学沉积装置进行电化学沉积的方法，该方法包括：将连接好工作电极、参比电极和对电极的夹具浸没在所述电解池的电解液中，然后进行电化学沉积。