[发明专利]用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法有效
| 申请号： | 201510029460.1 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN105862112B | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 汤洋;郭逦达;白安琪;陈颉 | 申请（专利权）人： | 神华（北京）光伏科技研发有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;李婉婉 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北七家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 夹板 电化学沉积装置 电化学沉积 底座 电解池 支撑件 电化学工作站 参比电极 对电极 均匀性 可调节 生长基 夹持 制备 平行 承载 安置 | ||
【说明书】：
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