[发明专利]一种可集成窄带微型滤光器有效
| 申请号： | 201510026670.5 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN104570184A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种可集成窄带微型滤光器，涉及一种滤光器。设有衬底、介质薄膜层结构和金属光栅；介质薄膜层结构设于衬底上表面，介质薄膜层结构设有至少2层介质薄膜层，每层介质薄膜层的折射率不同，金属光栅设于介质薄膜层结构上表面，金属光栅为一维金属光栅或二维金属光栅。通过调节光栅周期、介质薄膜层折射率和厚度，可以调节滤光器通带的中心波长和带宽。具有较小尺寸，有利于在微光学系统和光电器件中集成应用。用于集成微光学系统、或被集成在光电器件中实现滤光功能。可以制作在透明介质衬底上，做为单元器件在微光学系统中使用，也可以集成在光电器件中做为一个结构单元，对光电器件所发射光实现滤光功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 窄带 微型 滤光 | ||
【主权项】：
一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，设有衬底、介质薄膜层结构和金属光栅；介质薄膜层结构设于衬底上表面，介质薄膜层结构设有至少2层介质薄膜层，每层介质薄膜层的折射率不同，金属光栅设于介质薄膜层结构上表面，金属光栅为一维金属光栅或二维金属光栅。
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