[发明专利]一种可集成窄带微型滤光器有效
| 申请号： | 201510026670.5 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN104570184A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成 窄带 微型 滤光 | ||
1.一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，设有衬底、介质薄膜层结构和金属光栅；
介质薄膜层结构设于衬底上表面，介质薄膜层结构设有至少2层介质薄膜层，每层介质薄膜层的折射率不同，金属光栅设于介质薄膜层结构上表面，金属光栅为一维金属光栅或二维金属光栅。
2.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述衬底为半导体衬底或透明介质衬底；所述半导体衬底用于制作所涉及光电器件的半导体基底材料；所述透明介质衬底为绝缘体介质薄膜层，所述绝缘体介质薄膜层为氧化硅、氧化铝、氮化硅或塑料绝缘体介质薄膜层。
3.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述金属光栅采用的金属材料选用金、银、铜或铝。
4.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述金属光栅的金属层厚度为20～100nm，金属光栅的周期为200～10000nm，金属光栅的内开口部分的宽度小于周期一半，优选10～5000nm。
5.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述二维金属光栅为网状二维金属光栅或岛状二维金属光栅。
6.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述介质薄膜层结构的介质薄膜层材料采用绝缘体材料或半导体材料，绝缘体材料为二氧化硅、氮化硅或氧化铝；半导体材料选用硅、锗、III-V族或II-VI族化合物半导体。
7.如权利要求1所述一种可集成窄带微型滤光器，其特征在于，所述介质薄膜层结构的总厚度为20～2000nm。
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