[发明专利]多测量头的水氧透气率测量系统

摘要

本发明涉及一种多测量头的水氧透气率测量系统，包括一个公共腔，所述公共腔是由上基板，下基板和边桶构成的一个密闭空间，工作时充以高纯惰性气体；在公共腔的上基板上固定有多个与上基板中心等距的测量探头腔，在公共腔体的下基板的中心固定有一个共用的真空蒸发腔；在每一个测量探头腔下有一个与之对接的移动腔，所述移动腔内装有一个蒸镀有活泼金属膜的石英晶振片，所述石英晶振片的上下电极经电线穿过移动腔的移动腔体和公共腔的边桶连接到振荡器形成振荡信号，通过各自的电子开关再转接到膜厚测量仪，所述膜厚测量仪连接计算机。在本发明中提供了多测量头可以同时测量多个样品大大提高了仪器的利用率。

主权项

一种多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，包括一个公共腔（59），所述公共腔（59）是由上基板（51），下基板（52）和边桶（50）构成的一个密闭空间，工作时充以高纯惰性气体；在公共腔（59）的上基板（51）上固定有多个与上基板（51）中心等距的测量探头腔（19），在公共腔体（59）的下基板（52）的中心固定有一个共用的真空蒸发腔（39）；在每一个测量探头腔下有一个与之对接的移动腔，所述移动腔内装有一个蒸镀有活泼金属膜的石英晶振片（1），所述石英晶振片（1）的上下电极经电线（2）穿过移动腔的移动腔体（3）和公共腔（59）的边桶（50）连接到振荡器（61）形成振荡信号，通过各自的电子开关（62）再转接到膜厚测量仪（63），所述膜厚测量仪（63）连接计算机（64）；所述膜厚测量仪（63）测量待测样品片（17）膜厚随时间的变化，经计算机（64）进行数据处理后，得到该测量探头腔上的待测样品片（17）的水氧透过率；所述移动腔体（3）连接转柄（8），所述转柄（8）旋转带动移动腔体（3）旋转使移动腔在测量探头腔（19）和真空蒸发腔（39）之间转换，当移动腔完成一次测量后转到与真空蒸发腔（39）对接的位置时，通过真空蒸发腔（39）中的蒸发坩埚蒸发活泼金属到石英晶振片（1）上形成新的气敏层后，再转回到原来测量探头腔下方位置进行下一次的测量过程。