[发明专利]多测量头的水氧透气率测量系统

权利要求书

1.一种多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，包括一个公共腔（59），所述公共腔（59）是由上基板（51），下基板（52）和边桶（50）构成的一个密闭空间，工作时充以高纯惰性气体；在公共腔（59）的上基板（51）上固定有多个与上基板（51）中心等距的测量探头腔（19），在公共腔体（59）的下基板（52）的中心固定有一个共用的真空蒸发腔（39）；在每一个测量探头腔下有一个与之对接的移动腔，所述移动腔内装有一个蒸镀有活泼金属膜的石英晶振片（1），所述石英晶振片（1）的上下电极经电线（2）穿过移动腔的移动腔体（3）和公共腔（59）的边桶（50）连接到振荡器（61）形成振荡信号，通过各自的电子开关（62）再转接到膜厚测量仪（63），所述膜厚测量仪（63）连接计算机（64）；所述膜厚测量仪（63）测量待测样品片（17）膜厚随时间的变化，经计算机（64）进行数据处理后，得到该测量探头腔上的待测样品片（17）的水氧透过率；所述移动腔体（3）连接转柄（8），所述转柄（8）旋转带动移动腔体（3）旋转使移动腔在测量探头腔（19）和真空蒸发腔（39）之间转换，当移动腔完成一次测量后转到与真空蒸发腔（39）对接的位置时，通过真空蒸发腔（39）中的蒸发坩埚蒸发活泼金属到石英晶振片（1）上形成新的气敏层后，再转回到原来测量探头腔下方位置进行下一次的测量过程。

2.根据权利要求1所述的多测量头的水氧透气率测量系统，所述测量探头腔（19）是由测量探头腔体（10）、密封圈（16）、待测样品片（17）、中间带窗孔的测量腔体压盖（18）和带胶圈（15）的开关阀（14）组成；在所述测量腔体压盖上面套有一个腔外气氛腔（79），在测量探头腔体（10）的底部开有通孔连通到移动腔（9），在通孔上面装有带胶圈（15）的开关阀（14），在测量探头腔体（10）上还有抽气口（12）和进气口（11），所述抽气口连接阀门和真空泵，所述进气口连接阀门和高纯惰性气体系统，所述测量探头腔体的下平面与公共腔（59）的上基板（51）的下平面呈一平整的平面。

3.根据权利要求2所述的多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，所述腔外气氛腔（79）是由气氛罩（70）与测量腔体压盖（18）和待测样品片（17）形成的空间，在气氛罩上有气氛进气口（71）和气氛出气口（72），气氛进气口通过阀门与气氛产生装置相连，气氛产生装置提供恒温恒湿空气、纯氧或纯水汽。

4.根据权利要求1所述的多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，所述真空蒸发腔（39）是由真空蒸发腔体（30）、第二密封圈（36）、装有上蒸发坩埚（40）和加热炉丝引出电极（38）的下盖（37）和带第二胶圈（35）的第二开关阀（34）组成，在真空蒸发腔体（30）的上底部开有第二通孔（33），第二通孔（33）连通到转动过来的移动腔（9），在第二通孔（33）上面装有带第二胶圈（35）的第二开关阀（34），在真空蒸发腔体（30）上还有第二抽气口（32）和第二进气口（31），第二抽气口（32）与阀门和高真空系统相连，第二进气口（31）与阀门和高纯惰性气体系统相连，所述真空蒸发腔体（30）的上平面与公共腔（59）的下基板（52）的上平面呈一平整的平面。

5.根据权利要求1所述的多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，所述移动腔（9）是由上下开口的桶状结构移动腔体（3）和上下第三密封圈（4）组成，或由下面封闭的筒状结构的移动腔体（6）和上部第三密封圈（4）组成，为了保证能使移动腔体与测量探头腔体以及真空蒸发腔体（30）的密封，在测量探头腔体以及真空蒸发腔体（30）的另一面安装有压块，当移动腔转动到位后再压紧压块以保证气密性。

6.根据权利要求1所述的多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，所述公共腔体（59）在边桶（50）上有第三抽气口（53）、第三进气口（54），第三抽气口（53）通过阀门连到真空泵，第三进气口（54）通过阀门连到高纯惰性气体；转轴（8）安装在下基板（52）上。

7.根据权利要求1所述的多测量头的水氧透气率测量系统，其特征在于，所述真空蒸发腔（39）安装在公共腔（59）的上基板（51）的中心，所述真空蒸发腔体（30）的下平面与公共腔（59）的上基板（51）的上平面呈一平整的平面；并将上蒸发坩埚（40）换成下蒸发坩埚（41）。