[发明专利]递送装置、其制备方法以及包含该递送装置的制品有效
申请号: | 201510024653.8 | 申请日: | 2015-01-19 |
公开(公告)号: | CN104789942B | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | E·沃克;R·L·迪卡洛;D·V·谢奈-卡特哈特 | 申请(专利权)人: | 塞莱斯技术公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 胡嘉倩,江磊 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文公开了一种递送装置,其包括腔室、气体进口、气体出口、浸渍管和套筒,所述浸渍管包含在所述腔室中并且具有上部和下部,所述浸渍管的上部与所述气体进口流体连通,并且可操作以允许载气进入,所述浸渍管的下部延伸进入所述腔室,所述浸渍管的下部在出口端终止,所述套筒具有第一端和第二端,所述第一端与所述浸渍管的下部过盈配合,所述套筒在受到干扰时发生振动。 | ||
搜索关键词: | 递送 装置 制备 方法 以及 包含 制品 | ||
【主权项】:
一种递送装置,其包括:腔室;气体进口;气体出口;和浸渍管,所述浸渍管包含在所述腔室中并且具有上部和下部,所述浸渍管的上部与所述气体进口流体连通,并且可操作以允许载气进入,所述浸渍管的下部延伸进入所述腔室,所述浸渍管的下部在出口端终止;以及套筒,所述套筒具有第一端和第二端,所述第一端与所述浸渍管的下部过盈配合,所述套筒在受到干扰时发生振动,其中所述套筒包括弹性体或壁厚度为0.020‑0.070毫米的金属。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的