[发明专利]电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置

摘要

本发明涉及一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体和腔体盖形成一个真空腔体，在腔体和腔体盖之间设置密封胶垫，在腔体外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极，在感应电极外面包上一层透明的绝缘膜，将感应电极用导线连接到电火花式真空检漏器的放电头上；在真空腔体有一个抽气口，抽气口与三通阀门的一个接口连接，三通阀门的另一个接口与真空机械泵连接，三通阀门的第三个接口连接到大气、氧气或其他气体。本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置用火花式真空检漏器来替代一般使用的高频电源和匹配器降低成本达数十倍，简化了结构，缩小了体积，降低了能耗，操作简便可靠。

主权项

一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，由腔体（1）和腔体盖（3）形成一个真空腔体（9），在腔体（1）和腔体盖（3）之间设置密封胶垫（2），在腔体（1）外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极（4），在感应电极（4）外面包上一层透明的绝缘膜（5），将感应电极（4）用导线（6）连接到电火花式真空检漏器（7）的放电头（8）上；在真空腔体（9）有一个抽气口（10），抽气口（10）与三通阀门（12）的一个接口连接，三通阀门（12）的另一个接口与真空机械泵（13）连接，三通阀门（12）的第三个接口（11）连接到大气、氧气或其他气体；在真空腔体（9）内放有待清洗的基板（14），控制三通阀门（12）使真空腔体（9）只连接到真空机械泵（13）上，打开真空机械泵（13）对真空腔体（9）抽真空，使真空腔体（9）的真空度低于10pa后，接通电火花式真空检漏器（7）的电源开关，产生高频高压脉冲，通过放电头（8）经导线（6）传到感应电极（4）上，使真空腔体（9）内产生均匀的等离子体，应用氧等离子体的对有机污染反应生成二氧化碳被抽走的过程来清洗待清洗的基板（14）。