[发明专利]电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置

权利要求书

1.一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，由腔体（1）和腔体盖（3）形成一个真空腔体（9），在腔体（1）和腔体盖（3）之间设置密封胶垫（2），在腔体（1）外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极（4），在感应电极（4）外面包上一层透明的绝缘膜（5），将感应电极（4）用导线（6）连接到电火花式真空检漏器（7）的放电头（8）上；在真空腔体（9）有一个抽气口（10），抽气口（10）与三通阀门（12）的一个接口连接，三通阀门（12）的另一个接口与真空机械泵（13）连接，三通阀门（12）的第三个接口（11）连接到大气、氧气或其他气体；在真空腔体（9）内放有待清洗的基板（14），控制三通阀门（12）使真空腔体（9）只连接到真空机械泵（13）上，打开真空机械泵（13）对真空腔体（9）抽真空，使真空腔体（9）的真空度低于10pa后，接通电火花式真空检漏器（7）的电源开关，产生高频高压脉冲，通过放电头（8）经导线（6）传到感应电极（4）上，使真空腔体（9）内产生均匀的等离子体，应用氧等离子体的对有机污染反应生成二氧化碳被抽走的过程来清洗待清洗的基板（14）。

2.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体（1）是由耐压的高温玻璃、石英玻璃或不透气的精密陶瓷制成。

3.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体（1）的形状是管状、罐状、钟罩状的容器。

4.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体盖（3）是由玻璃、石英、不透气的陶瓷或金属材料制成。

5.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的感应电极（4）是由金属丝以线圈缠绕的方式、之字形的方式或其他方式粘贴在腔体（1）的表面。

6.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的抽气口（10）在腔体（1）上或在腔体盖（3）上。

7.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的其他气体包括各种惰性气体和各钟有机及无机的活性气体，在等离子体状态下能够与金属或化合物产生反应的气体。