[发明专利]液体金属有机化合物供给系统

摘要

本发明涉及一种液体金属有机化合物供给系统，其系应用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）制程设备，其包含设置于恒温装置中之第一瓶体、设置于室温中之第二瓶体及三通阀。其中三通阀之第一连接端及第一瓶体之第一出气管连接金属有机化学气相沉积制程设备，第二连接端连接第二瓶体之第二进气管，第三连接端连接第一瓶体之第一进气管及第二瓶体之第二出气管。本发明在应用于MOCVD制程时，能够延长液体高纯金属有机化合三甲基镓的使用时间，减少更换次数，从而提高MOCVD设备的量产能力、有效的提高三甲基镓的利用率及降低使用成本。另本发明也降低了液体高纯金属有机化合物三甲基镓的制造和包装成本。

主权项

一种液体金属有机化合物供给系统，系应用于一金属有机化学气相沉积制程设备，其特征是包含：一个第一瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第一瓶体具有一个第一进气管及一个第一出气管，所述第一出气管连接所述金属有机化学气相沉积制程设备；以及一个第二瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第二瓶体具有一个第二进气管、一个第二出气管及一个三通阀，所述三通阀系具有一个第一连接端、一个第二连接端及一个第三连接端，所述第一连接端连接所述金属有机化学气相沉积制程设备，所述第二连接端连接所述第二进气管，所述第三连接端连接所述第一进气管及所述第二出气管，且所述三通阀选择性地将所述第一连接端与所述第二连接端连通或将所述第一连接端与所述第三连接端连通；所述第一瓶体及所述第二瓶体所容置的液体高纯金属有机化合物为纯度大于或等于99.9999％的三甲基镓；所述第一瓶体系设置于具有一个第一温度的一个恒温装置中，所述第二瓶体设置于具有一个第二温度的预定位置中，且所述第二温度大于所述第一温度，且所述第二温度为室温。