[发明专利]液体金属有机化合物供给系统

权利要求书

1.一种液体金属有机化合物供给系统，系应用于一金属有机化学气相沉积制程设备，其特征是包含：

一个第一瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第一瓶体具有一个第一进气管及一个第一出气管，所述第一出气管连接所述金属有机化学气相沉积制程设备；

以及一个第二瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第二瓶体具有一个第二进气管、一个第二出气管及一个三通阀，所述三通阀系具有一个第一连接端、一个第二连接端及一个第三连接端，所述第一连接端连接所述金属有机化学气相沉积制程设备，所述第二连接端连接所述第二进气管，所述第三连接端连接所述第一进气管及所述第二出气管，且所述三通阀选择性地将所述第一连接端与所述第二连接端连通或将所述第一连接端与所述第三连接端连通；

所述第一瓶体及所述第二瓶体所容置的液体高纯金属有机化合物为纯度大于或等于99.9999％的三甲基镓；

所述第一瓶体系设置于具有一个第一温度的一个恒温装置中，所述第二瓶体设置于具有一个第二温度的预定位置中，且所述第二温度大于所述第一温度，且所述第二温度为室温。

2.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是还包含侦测所述第一瓶体的液位的一个液位计及判断所述第一瓶体的液位低于一个第一默认值时控制所述三通阀的所述第一连接端连通所述第二连接端的一个控制模块，所述液位计设置于所述第一瓶体，所述控制模块系电性连接于所述液位计与所述三通阀之间。

3.根据权利要求2所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是更包含用以显示所述第一瓶体的液位的一个显示单元，其系电性连结所述液位计。

4.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是还包含侦测所述第一瓶体的液位的一个液位计及判断所述第一瓶体的液位高于一个第二默认值时控制所述三通阀的所述第一连接端连通所述第三连接端的一个控制模块，所述液位计设置于所述第一瓶体，所述控制模块系电性连接于所述液位计与所述三通阀之间。

5.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是所述第一瓶体的容积小于所述第二瓶体的容积。

6.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是所述第一瓶体具有一个第一进气阀、第一出气阀及一个第一横向阀，所述第一进气阀设置于所述第一进气管，所述第一出气阀设置于所述第一出气管，所述第一横向阀连接于所述第一进气管及所述第一出气管之间。

7.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是所述第二瓶体具有一个第二进气阀、第二出气阀及一个第二横向阀，所述第二进气阀设置于所述第二进气管，所述第二出气阀设置于所述第二出气管，所述第二横向阀连接于所述第二进气管及所述第二出气管之间。

8.根据权利要求1所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是所述第一瓶体及所述第二瓶体均为三阀门钢瓶。

9.一种液体金属有机化合物供给系统，系应用于一金属有机化学气相沉积制程设备，其特征是包含：

一个第一瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第一瓶体具有一个第一进气管及一个第一出气管，所述第一出气管连接所述金属有机化学气相沉积制程设备，且所述第一进气管于所述第一瓶体内部的一端系邻近于所述第一瓶体内部的底部；

一个第二瓶体，系用以容置液体高纯金属有机化合物，所述第二瓶体具有一个第二进气管及一个第二出气管，所述第二出气管于所述第二瓶体内部的一端系邻近于所述第二瓶体内部的底部；

一个连接管，系连接于所述第一进气管与所述第二出气管之间；以及一个液位侦测模块，系对应于所述第一瓶体，其包含用以侦测所述第一瓶体之液位的一个液位计及用以显示所述第一瓶体之液位的一个显示单元，所述液位计系设置于所述第一瓶体，所述显示单元系电性连接所述液位计；

所述第一瓶体及所述第二瓶体所容置的液体高纯金属有机化合物为纯度大于或等于99.9999％的三甲基镓；

所述第一瓶体系设置于具有一个第一温度的一个恒温装置中，所述第二瓶体设置于具有一个第二温度的预定位置中，且所述第二温度大于所述第一温度，且所述第二温度为室温。

10.根据权利要求9所述的液体金属有机化合物供给系统，其特征是所述第一瓶体的容积小于所述第二瓶体的容积。