[发明专利]放射线检测器在审
申请号: | 201510019150.1 | 申请日: | 2015-01-14 |
公开(公告)号: | CN104779261A | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 土岐贵弘;田边晃一;吉牟田利典;岸原弘之;佐野哲 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G01T1/24 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种放射线检测器。在X射线条状检测器中,在感应所入射的X射线并生成电荷的感应半导体膜的X条侧和Y条侧的面的、至少转换膜的整个敏感区域的整面上形成有接合用半导体膜。接合用半导体膜的电阻比感应半导体膜的电阻高。因此,当由感应半导体膜生成的电荷被X条和Y条收集时,能够分别抑制电荷向相邻的条状电极移动。因而,能够抑制电荷向相邻的条状电极漏出的串扰。 | ||
搜索关键词: | 放射线 检测器 | ||
【主权项】:
一种检测放射线的放射线检测器,包括以下结构:转换膜,其将所入射的放射线转换为电荷;在第一方向上长的第一条状电极,在上述转换膜的与放射线入射面相反一侧的放射线入射相反面上并排地设置有多个该第一条状电极;以及在第二方向上长的第二条状电极,在上述转换膜的放射线入射面和放射线入射相反面中的任一方并排地设置有多个该第二条状电极,该第二方向与上述第一方向相交,其中,上述转换膜具有:感应半导体膜,其感应所入射的放射线并生成电荷;以及接合用半导体膜,其形成于上述感应半导体膜的上述第一条状电极侧和上述第二条状电极侧的面的、至少上述转换膜的整个敏感区域的整面上,接合用半导体膜的电阻比上述感应半导体膜的电阻高。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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