[发明专利]氮化镓基发光器件的电极体系及其制作方法在审
| 申请号： | 201510017329.3 | 申请日： | 2015-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN104617202A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 郭金霞;王良臣;梁萌;王莉;黄亚军;伊晓燕;刘志强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/38 | 分类号： | H01L33/38;H01L33/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种氮化镓基发光器件的电极体系及其制作方法，其中氮化镓基发光器件，包括：一透明衬底；一第一半导体层，一有源层和一第二半导体层，所述第一半导体层与第二半导体层的导电类型相反；一P型接触层，位于空穴为多数载流子的第一半导体层或第二半导体层的表面，其为 |
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| 搜索关键词： | 氮化 发光 器件 电极 体系 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种氮化镓基发光器件，包括：一透明衬底；一第一半导体层，一有源层和一第二半导体层，所述第一半导体层与第二半导体层的导电类型相反；一P型接触层，位于空穴为多数载流子的第一半导体层或第二半导体层的表面，其为![]()
的金属氧化物导电薄膜；一Ag或Al的反射镜，位于p型接触层上，所述Ag或Al的反射镜与p型接触层直接接触；一P电极焊盘，在Ag或Al的反射镜上，由多层金属组成，多层金属包含金属扩散阻挡层和焊接层。
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